產品名稱 : MRT氣浮轉台
產品描述
MRT氣浮轉台以其高定位精度及高重覆精度也可提供真空版本。
亦可用於廣泛應用於塗層測試與測量晶圓和其他存在高精度需要的應用。
產品介紹