高精度晶圓形狀測定系統
產品介紹
| DYVOCE |
|---|
| 產品/裝置概要(介紹) |
| 高精度晶圓形狀測定系統 使用非接觸式感測器量測樣品的均勻度以及厚度 |
| 特長(優點) |
| 可做重力補正得出真實數值.有實驗用/量產機型可對應 |
| 相關檔案 |
| DYVOCE |
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| 高精度晶圓形狀測定系統 使用非接觸式感測器量測樣品的均勻度以及厚度 |
| 特長(優點) |
| 可做重力補正得出真實數值.有實驗用/量產機型可對應 |
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