產品名稱 : XY Theta氣浮台
產品描述

行程:450mm*550mm* ± 90°

定位精度:± 1μm

重複定位精度:± 0.5μm

靜態直線度:± 1.5μm

負載:40kg

最大加速度:1000mm/s

最大加速度:3g

俯仰:2 arc

轉動:2 arc

偏擺:1 arc

XY正交性:1 arc

平均無故障時間 > 4000 hrs