行程：450mm*550mm* ± 90°
定位精度：± 1μm
重複定位精度：± 0.5μm
靜態直線度：± 1.5μm
負載：40kg
最大加速度：1000mm/s
最大加速度：3g
俯仰：2 arc
轉動：2 arc
偏擺：1 arc
XY正交性：1 arc
平均無故障時間 > 4000 hrs
